特許
J-GLOBAL ID：200903002300288667

集積型光起電力装置及びその製造方法

発明者：
矢田 茂郎

矢田 茂郎 について

, 
山本 恵章

山本 恵章 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073226
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280580
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、光電変換層を構成する非晶質半導体層が薄膜化しても、裏面電極膜の加工不良の発生を防止する集積型光起電力装置の製造方法を提供する。【解決手段】 透光性基板1上に透明電極2、少なくとも一つの接合を有する非晶質又は微結晶半導体からなる光電変換層3、裏面電極4が順次積層されており、形成途中の各段階において基板以外の各層を複数の領域に分離することで直列接続される集積型光起電力装置の製造方法であって、上記光電変換層3上に透明導電膜4aを形成し、この透明導電膜4aをこの膜側からレーザ照射によりを複数の領域に分離した後、この透明導電膜4aを一方の電極として用いた電気メッキ法により、透明導電膜4a上に金属膜4bを形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に第1の電極、少なくとも一つの接合を有する非晶質又は微結晶半導体からなる光電変換層、第2の電極が順次積層されており、各層を複数の領域に分離することで直列接続された集積型光起電力装置であって、上記第1または第2の電極の内、裏面側電極となる電極が透明導電膜及び金属膜からなり、且つ前記金属膜が前記透明導電膜の上面及び側面を覆うように形成されていることを特徴とする集積型光起電力装置。
IPC (2件)：
H01L 31/04 ,  H01L 21/288
FI (3件)：
H01L 21/288 E ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 S
Fターム (29件)：
4M104AA08 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD37 ,  4M104DD42 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104DD75 ,  4M104FF13 ,  4M104GG05 ,  4M104GG20 ,  4M104HH20 ,  5F051AA05 ,  5F051BA17 ,  5F051CA15 ,  5F051CB27 ,  5F051DA04 ,  5F051EA01 ,  5F051EA03 ,  5F051EA09 ,  5F051EA10 ,  5F051EA11 ,  5F051EA16 ,  5F051FA03 ,  5F051FA04 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03
引用特許：
出願人引用 (6件)
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