特許

J-GLOBAL ID：200903002413968923

テラヘルツ波電子線分光測定方法および装置

発明者： 清 紀弘
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-017631
公開番号（公開出願番号）：特開2009-180535
出願日： 2008年01月29日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：

【課題】テラヘルツ光を照射した同時刻のイベントの分光測定を行うテラヘルツ波電子線分光測定方法および装置を提供する。【解決手段】マルチバンチの相対論的電子ビームが射出する長波長のコヒーレント放射光を集光して試料に照射し、前記試料を透過した透過光もしくは前記試料で反射した反射光を再び集光して次ぎ以降の電子バンチと正面衝突するように制御した状態で、逆コンプトン散乱によって生じた散乱光のスペクトルを測定し、前記光のスペクトルに基づいてテラヘルツ帯付近の波長の吸収もしくは反射スペクトルを測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マルチバンチの相対論的電子ビームが射出する長波長のコヒーレント放射を集光して試料に照射し、前記試料を透過した透過光もしくは前記試料で反射した反射光を再び集光して次ぎ以降の電子バンチと正面衝突するように制御した状態で、逆コンプトン散乱によって生じた散乱光のスペクトルを測定し、前記光のスペクトルに基づいてテラヘルツ帯付近の波長の吸収もしくは反射スペクトルを測定することを特徴とするテラヘルツ波電子線分光測定方法。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (12件)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF04 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• テラヘルツ分光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-243699   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
• テラヘルツ分光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-160617   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン