特許

J-GLOBAL ID：200903002439397711

半導体基板の保管ボックス

発明者： 白水 好美
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223594
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067889
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造工程ならびに材料処理プロセスにおいて、半導体基板表面を清浄に保持する。【解決手段】 保管ボックスの容器本体1と組をなす蓋体2は、有機ガス除去用フィルター及びパーティクル除去用のフィルター3を装備した一体構造になっている。有機ガス除去用フィルター3は、容器本体1内に発生する有機ガスを捕捉・除去するようになっており、パーティクル除去用のフィルター3は、容器本体1内に侵入するパーティクルを捕捉・除去するようになっている。また容器本体1は、有機物を放出しないメタルフリーな合成樹脂から構成されている。

請求項（抜粋）：

容器本体と蓋体との組合せからなる半導体基板の保管ボックスであって、容器本体は、半導体基板を収納するものであり、蓋体は、前記容器本体を施蓋するものであって、有機ガス除去用のフィルターとパーティクル除去用のフィルターを装備した一体構造のものであることを特徴とする半導体基板の保管ボックス。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 蒸気ドレーン装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-014959   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• ウエハボツクス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189268   出願人：ソニー株式会社