特許
J-GLOBAL ID：200903002452681674
シリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271240
公開番号（公開出願番号）：特開2004-107132
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】シリコン融液から引上げ中のシリコン単結晶棒の外周部の急激な温度低下を阻止し、無欠陥のシリコン単結晶棒を得る。【解決手段】熱遮蔽部材36は、石英るつぼ13に貯留されたシリコン融液12からシリコン単結晶棒25を引上げる装置に設けられ、シリコン単結晶棒の外周面を包囲してヒータ18からの輻射熱を遮る筒部37と、筒部の下部に設けられた膨出部41と、膨出部の内部に設けられたリング状の蓄熱部材47とを備える。蓄熱部材は熱伝導率が5W/(m・°C)以下であり、シリコン単結晶棒の直径をdとするとき蓄熱部材の内周面は高さH1が10mm以上d/2以下であってシリコン単結晶棒の外周面との最小間隔W1が10mm以上0.2d以下であり、蓄熱部材の外周面の上縁と最下部との垂直距離H2が10mm以上d以下であって石英るつぼ内周面との最小間隔W2が20mm以上d/4以下である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
石英るつぼ(13)の外周面を包囲するヒータ(18)により加熱されて前記石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)からシリコン単結晶棒(25)を引上げる装置に設けられ、下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置しかつ前記シリコン単結晶棒(25)の外周面を包囲して前記ヒータ(18)からの輻射熱を遮る筒部(37)と、前記筒部(37)の下部に筒内の方向に膨出して設けられた膨出部(41)と、前記膨出部(41)の内部に設けられ前記シリコン単結晶棒(25)の下部外周面を包囲するリング状の蓄熱部材(47)とを備えた熱遮蔽部材において、
前記蓄熱部材(47)は熱伝導率が5W/(m・°C)以下であり、
前記蓄熱部材(47)は前記シリコン単結晶棒(25)の軸心線に対して平行に又は-30度以上+30度以下の角度で傾斜する内周面を有し、
前記シリコン単結晶棒(25)の直径をdとするときdが100mm以上であり前記蓄熱部材(47)の内周面は高さ(H1)が10mm以上d/2以下であって前記シリコン単結晶棒(25)の外周面との最小間隔(W1)が10mm以上0.2d以下になるように形成された
ことを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B29/06 502C
, C30B15/00 Z
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG19
, 4G077HA12
, 4G077PE22
