特許
J-GLOBAL ID：200903002456152340

配線板および液晶表示装置

発明者：
小倉 雅史

小倉 雅史 について

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片岡 義晴

片岡 義晴 について

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島田 尚幸

島田 尚幸 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-257232
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194677
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 絶縁膜上に形成された金属膜における上記絶縁膜との密着性を改善する。【解決手段】 絶縁性基板42上にTFT43を形成し、TFT3を覆う感光性樹脂44を成膜する。円形遮光部が散在された第1フォトマスクと第2フォトマスクとで2回の露光を行い、感光性樹脂44にコンタクトホール66を形成すると共に、TFT43以外の領域に滑らかな凹凸を形成する。さらに、感光性樹脂44上にMoN膜45および反射電極46を順次積層する。その場合、MoN膜45におけるN2の含有量を5原子%以上で且つ30原子%以下にすることによって、感光性樹脂44に対するMoN層45の高い密着力を得ることができ、且つ、エッチングレートの低下を抑制できる。
請求項（抜粋）：
金属膜と、この金属膜に接する絶縁膜を有する配線板において、上記金属膜における少なくとも上記絶縁膜と接する側に、窒化モリブデン膜が形成されていることを特徴とする配線基板。
IPC (4件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 330 ,  G09F 9/30 349
FI (4件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 330 Z ,  G09F 9/30 349 D
Fターム (43件)：
2H090HD05 ,  2H090HD08 ,  2H090LA01 ,  2H090LA20 ,  2H092HA05 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JB07 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA08 ,  2H092PA10 ,  2H092PA12 ,  2H092PA13 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA06 ,  5C094EB02 ,  5C094ED11 ,  5C094ED13 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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