特許

J-GLOBAL ID：200903002473770405

複合型顕微鏡

発明者： 田村 知巳 ,  冨田 定 ,  三田村 茂宏 ,  石田 秀信 ,  小河 潔 ,  林 茂樹
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-231334
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047206
出願日： 2004年08月06日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】 本発明は、試料の内部X線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。【解決手段】 電子鏡筒1の電子線を可動式のターゲット9により遮蔽し、X線を発生させることで、X線発生器を電子線発生器と共用させる。これにより試料への照射X線と照射電子線が同軸上に落射されるため、同一視野で試料内部情報、表面情報の両方を観察することができる。また、試料全体の内部形態情報を示すX線画像に目的部位15の元素分布像を重ねがきして表示することも可能となる。機械的切断手段10を備えているため、試料内部の電子線画像などを表示することも可能である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

真空容器内で試料を支持する試料ステージと、 前記試料にX線を照射するX線発生器と、 前記試料を透過したX線を検出するX線検出器と、 前記試料に電子線を照射して走査させることができる電子鏡筒と、 電子線が照射された試料から発生した2次電子又は反射電子を検出する電子検出器と、 表示部と、 前記X線検出器からの信号を処理してX線画像を前記表示部に表示させるX線画像制御部と、 前記電子検出器からの信号を処理して電子線画像を前記表示部に表示させる電子線画像制御部と、 試料の同一部分のX線画像と電子線画像を同時に又は時系列的に表示する検出信号処理部と、を備えた複合型顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 23/04 ,  G01N 1/06 ,  G01N 1/32 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28

FI (6件)：

G01N23/04 ,  G01N1/06 K ,  G01N1/32 B ,  G01N23/225 ,  H01J37/252 A ,  H01J37/28 B

Fターム (34件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001LA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001RA01 ,  2G001RA04 ,  2G052AA28 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052BA16 ,  2G052EC03 ,  2G052EC14 ,  2G052GA18 ,  2G052GA19 ,  2G052JA08 ,  2G052JA23 ,  5C033PP06 ,  5C033PP08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06 ,  5C033UU10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 投影型X線顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-329645   出願人：科学技術振興事業団, 学校法人明治大学
• 走査型プローブ顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-336611   出願人：日立建機株式会社