特許
J-GLOBAL ID：200903002486231368

文字記号部を有する基板とその文字記号部の加工方法

発明者：
藤本 茂一

藤本 茂一 について

, 
栗原 正彰

栗原 正彰 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269820
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075983
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】 品質的に問題なく、作業効率良く、文字、記号を配設できる製造方法が採れる基板彫り込み型のクロムレスの位相シフトマスクと、その製造方法を提供する。【解決手段】 透明な基板の一面に、文字および/または記号からなる文字記号部を配設した基板であって、前記文字記号部は、前記透明な基板を彫り込んだ凹溝からなるスリット状あるいは格子状等のパターンを、文字および/または記号の形状に合せた所定の領域にだけ設けたものである。
請求項１：
透明な基板の一面に、文字および/または記号からなる文字記号部を配設した基板であって、前記文字記号部は、前記透明な基板を彫り込んだ凹溝からなるパターンを、文字および/または記号の形状に合せた所定の領域にだけ設けたものであることを特徴とする文字記号部を有する基板。
IPC (3件)：
G03F 1/08 ,  G02B 5/18 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 1/08 A ,  G03F 1/08 R ,  G02B 5/18 ,  H01L 21/30 502 P
Fターム (11件)：
2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA37 ,  2H049AA43 ,  2H049AA45 ,  2H049AA56 ,  2H049AA65 ,  2H095BB03 ,  2H095BB10 ,  2H095BC26 ,  2H095BE04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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