特許
J-GLOBAL ID：200903002512164976
ワイヤソーによる切断方法およびそれに用いる切断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001534
公開番号（公開出願番号）：特開2002-205255
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤの移動によって起こる被加工材の揺れや振動によって発生するウエハのばたつきを抑制することにより、ウエハ表面のうねりを低減できるようなワイヤソーによる切断方法を提供する。【解決手段】 被加工材3を固定するための台座4として、少なくともワイヤ2の走行方向にて被加工材3を包含する大きさを有し且つ包含する部分の高さが被加工材3の重心位置よりも高いものを用いる。
請求項（抜粋）：
ワイヤ(2)を走行させながら被加工材(3)を切り込むようにしたワイヤソーによる切断方法において、前記被加工材を固定するための台座(4)として、少なくとも前記ワイヤの走行方向にて前記被加工材を包含する大きさを有し且つ包含する部分の高さが前記被加工材の重心位置よりも高いものを用いることを特徴とするワイヤソーによる切断方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
3C058AA05
, 3C058AA09
, 3C058AA12
, 3C058AA18
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058DA03
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BC01
, 3C069CA02
, 3C069CA04
, 3C069CB01
, 3C069DA06
, 3C069EA02
, 3C069EA05
