特許
J-GLOBAL ID:200903002516011007

広帯域変調および統計的推定手法を用いる分光計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 杉本 修司 ,  野田 雅士 ,  堤 健郎
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-504436
公開番号(公開出願番号):特表2004-530281
出願日: 2002年06月07日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
ランダム・バイナリ・シーケンス変調データから生成されるスペクトルを用いる分光計に関する。統計的推定手法を用いて分解能を向上させると同時に、モジュールまたは“チョッパ”または他のシステム・コンポネントにより発生するポアソン・ノイズ分布および他のアーチファクトを正確に解明する。実際に、従来の連続検出アナライザに比べて大幅な性能向上により、最新の分光計の分解能に近い分解能が達成できる。静的および動的挙動は、決定されたモデルにおいて理論的または実験的測定により解明される。1つの実施形態では、チョッパの平面を越える電界の有限侵入は非理想的チョッパ応答の原因となり、これにより、“エネルギー退化”効果およびビームがチョッパ・ポテンシャルに応答する時間の進みまたは遅れの特性を決定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
粒子を分析する装置であって、 実質的に広帯域周波数成分を有する変調シーケンスにより変調された粒子の流れを含む変調された粒子ビームのビーム源と、 前記変調された粒子ビームを搬送し、それぞれの粒子特性に従って粒子を分離する伝播路と、 前記粒子ビームの属性を検出し、その属性に応じてデータを示すデータ出力信号を発生する検出器と、 前記データ出力信号が前記装置のコンポネントによりどのような影響を受けたかのモデルを仮定し、修正されたデータ出力信号を得ることができる確率に基づく推定法を用いて、前記データ出力信号から前記粒子ビームに関する情報を復元するプロセッサと、を備えている装置。
IPC (3件):
H01J49/44 ,  H01J49/02 ,  H01J49/40
FI (3件):
H01J49/44 ,  H01J49/02 ,  H01J49/40
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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