特許

J-GLOBAL ID：200903002533588652

圧力測定装置

発明者： 平山 昌甫 ,  阿久津 功
出願人/特許権者： 大亜真空株式会社 ,  平山 昌甫
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-049092
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250664
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 圧力センサの静電容量を利用して被測定圧力を求める圧力測定装置において、外来ノイズ等の影響を受けることなく、高精度の測定結果を得ることができるようにすること。【解決手段】 圧力センサにおける静電容量Csを用いて、オペアンプOP11により積分回路31が形成される。前記積分回路31に供給される充電電流によって生成される電圧値を、第1と第2の異なるレベルの基準電圧値Vref1およびVref2と比較する比較回路が、オペアンプOP12,OP13およびコンパレータOP14,OP15によって形成される。そして、前記比較回路において、第1の基準電圧値との比較によって生成される第1比較出力の発生タイミングから、第2の基準電圧値との比較によって生成される第2比較出力の発生タイミングに至る経過時間に基づいて、被測定圧力を求める演算がなされる。

請求項（抜粋）：

被測定圧力に応じて静電容量が変化する圧力センサの前記静電容量を利用し、被測定圧力値を求める圧力測定装置であって、前記圧力センサにおける静電容量を用いて構成する積分回路と、前記積分回路に供給される充電電流によって生成される電圧値を、第1と第2の異なるレベルの基準電圧値と比較する比較回路とが具備され、前記比較回路において、第1の基準電圧値との比較によって生成される第1比較出力の発生タイミングから、第2の基準電圧値との比較によって生成される第2比較出力の発生タイミングに至る経過時間に基づいて、被測定圧力を求めるように構成した圧力測定装置。

Fターム (8件)：

2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE25 ,  2F055FF12 ,  2F055FF17 ,  2F055GG37

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電容量型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-078540   出願人：長野計器株式会社
• 特開昭63-012931
  
• 時間間隔測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-210505   出願人：株式会社アドバンテスト

審査官引用 (4件)

• 静電容量型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-078540   出願人：長野計器株式会社
• 特開昭63-012931
  
• 特開昭63-012931
  
• 時間間隔測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-210505   出願人：株式会社アドバンテスト