圧電センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-054856
公開番号（公開出願番号）：特開2001-241954
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は、圧電振動体の所定振動に対してダンピングが発生しにくく、安定した特性が導出でき、且つ外部回路との接続が容易な圧電センサを提供する。【解決手段】本発明は、円板状圧電セラミック基板10の上面の外周側に振動駆動電極11を、内周側に振動検出電極15〜18を夫々配置するとともに、圧電セラミック基板10の下面の中央部に錘部材3を貼着し、異なる2つの振動モードを用いて角速度を検出する圧電センサである。そして、前記振動駆動電極11と振動検出電極15〜18との間に非分極領域を設けるとともに、前記圧電セラミック基板10の両主面側から挟持固定するバネ性を有する支持部材2を接合した。

請求項（抜粋）：

円板状圧電セラミック基板の上面の外周側に振動駆動電極を、内周側に振動検出電極を夫々配置するとともに、圧電セラミック基板の下面の中央部に錘部材を貼着し、異なる2つの振動モードを用いて角速度を検出する圧電センサにおいて、前記振動駆動電極と振動検出電極との間の領域に、前記圧電セラミック基板の両主面側から挟持固定するバネ性を有する支持部材を接合したことを特徴とする圧電センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z

Fターム (8件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB12 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC08 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (7件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-347693 出願人：ミヨタ株式会社, 株式会社ワコー
加速度と角速度との双方を検出する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-225894 出願人：岡田和廣
振動ジャイロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215135 出願人：日産自動車株式会社

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