特許
J-GLOBAL ID:200903002552969055
クリーンベンチ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
日比谷 征彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-322715
公開番号(公開出願番号):特開2001-141273
出願日: 1999年11月12日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】 設置スペースを低減すると共に安全性を向上させる。【解決手段】 通気孔3a、3bを有する作業テーブル1の上部の作業空間4を箱体2により覆い、箱体2の開口にシャッタ5を開閉自在に設け、箱体2の背板の窓にフィルタ9を設置する。作業テーブル1の下方に電動ファン10を設置し、通気孔3a、3bと電動ファン10は通気路11を介して連通し、電動ファン10とフィルタ9は通気路12を介して連通する。通気路11に設けた通気口11aを開閉するダンパ13を設け、ダンパ駆動機構はスイッチ操作可能とする。陰圧通常運転モードはシャッタ5を開きダンパ13を閉じて、作業空間4内の空気量Q1をを作業者W側に流出させることなく、0.3〜0.6m/秒の速度で流通させる。陽圧通常運転モードはシャッタ5とダンパ13の双方を開いて、作業空間4内の空気を作業者W側に流出させながら同様な速度で流通させる。
請求項(抜粋):
通気孔を有する作業テーブルと、該作業テーブルの上方の作業空間を覆う箱体と、該箱体の開口を開閉するシャッタと、前記作業空間内に空気を流通させる電動ファンと、前記電動ファンからの空気を清浄化するフィルタとから成るクリーンベンチにおいて、前記通気孔と前記電動ファンを連通する通気路の外部空気取入口を開閉するダンパをスイッチ操作可能に設けたことを特徴とするクリーンベンチ。
IPC (3件):
F24F 7/06
, B01L 1/00
, F24F 7/007
FI (3件):
F24F 7/06 C
, B01L 1/00 A
, F24F 7/007 B
Fターム (9件):
3L056BD07
, 3L056BE00
, 3L056BF04
, 3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF03
, 3L058BG01
, 3L058BG04
, 4G057AA01
引用特許: