特許

J-GLOBAL ID：200903002628279290

湿度センサ及びその製造方法

発明者： 石割 博之 ,  中尾 悟志
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-344644
公開番号（公開出願番号）：特開2005-114357
出願日： 2003年10月02日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】 インピーダンスを増大させることなく、小型化を図ることができる湿度センサを提供する。【解決手段】 感湿膜13が形成される絶縁基板5の表面5aの領域を囲んで感湿液の流出を阻止する環状の枠部7を絶縁基板5の表面5aに設ける。枠部7内に所定量の感湿液を注入し、枠部7内に注入した感湿液を乾燥して感湿膜13を形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板の表面上に一対の電極が設けられ、前記一対の電極に跨るように前記表面上に塗布された感湿液が乾燥されて感湿膜が形成されてなる湿度センサにおいて、 前記感湿膜が形成される前記表面の領域を囲んで前記感湿液の流出を阻止する環状の枠部が設けられていることを特徴とする湿度センサ。

IPC (2件)：

G01N27/12 ,  G01N27/02

FI (3件)：

G01N27/12 G ,  G01N27/12 M ,  G01N27/02 A

Fターム (28件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046BF05 ,  2G046BH01 ,  2G046BJ06 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046EA12 ,  2G046EA14 ,  2G046FA01 ,  2G046FA05 ,  2G046FE00 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF06 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 湿度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-189763   出願人：北陸電気工業株式会社
• センサ素子及び回路基板並びにこれらを備えたセンサ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-231289   出願人：神栄株式会社

審査官引用 (2件)

• 湿度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-268073   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 湿度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-209206   出願人：セイコーエプソン株式会社