特許
J-GLOBAL ID：200903002797460646

フリップチップの実装装置

発明者：
佐藤 聖一

佐藤 聖一 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317350
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163252
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 フリップチップを高速度でしかも高い位置精度で基板に実装できるフリップチップの実装装置を提供することを目的とする。【解決手段】 トレイ3内のフリップチップ1の位置を第1の認識ユニット7で認識して第1のピックアップヘッド12でピックアップする。第1のピックアップヘッド12はフリップチップ1を上下反転させながら第1の受渡し位置S1へ搬送し、第2のピックアップヘッド40へ受渡す。第2のピックアップヘッド40はフリップチップ1を第2のターンテーブル30のアーム32上に受け渡す。第2のターンテーブル30はフリップチップ1を第2の受渡し位置S2へ搬送し、第3のピックアップヘッド69に受渡す。第2の認識ユニット52でフリップチップ1と基板61の位置を認識したうえで、フリップチップ1を基板61上に搭載し、加熱しながら押圧してボンディングする。
請求項（抜粋）：
フリップチップの供給部と、このフリップチップの供給部にバンプを上向きにして備えられたフリップチップの位置を認識する第1の認識ユニットと、このフリップチップをピックアップする第1のピックアップヘッドと、この第1のピックアップヘッドを第1の受渡し位置へ移動させる第1の移送手段と、この第1のピックアップヘッドをこの第1の受渡し位置へ移動させる間に第1のピックアップヘッドを上下反転させてフリップチップのバンプを下向きにする上下反転手段と、第1の受渡し位置において第1のピックアップヘッドからフリップチップを受け取る第2のピックアップヘッドと、基板を所定の位置に移動させる可動テーブルと、第1の受渡し位置において前記第1のピックアップヘッドに保持されたフリップチップを受け取り、このフリップチップを可動テーブルの上方の第2の受渡し位置へ移送する第2の移送手段と、第2の受渡し位置にあって第2のピックアップヘッドから第2の移送手段上に受渡されて第2の移送手段により第2の受渡し位置まで搬送されてきたフリップチップをピックアップして可動テーブル上の基板に搭載する第3のピックアップヘッドと、第3のピックアップヘッドにピックアップされたフリップチップの位置及び前記可動テーブル上の基板の位置の認識を行う第2の認識ユニットとを備えたことを特徴とするフリップチップの実装装置。
引用特許：
審査官引用 (6件)
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