注入同期型狭帯域レーザ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105055
公開番号（公開出願番号）：特開平11-298083
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】193nm等の短波長のレーザ光を高い波長安定性をもって長期間維持することができる注入同期型狭帯域化レーザを提供する。【解決手段】ポンピングレーザ11からのポンピング光によってオシレータ段Aの増幅媒体3が励起され、リアミラー1とフロントミラー4との間で発振した基本波光L1は、波長変換部12に入力され、4倍の高調波光L2に波長変換され、さらに全反射ミラー13,14を介して増幅段Bに入力され、高調波光L2が増幅された出力光L3として出力される。オシレータ段Aでは、基本波光L1を波長モニタ6によってモニタし、波長コントローラ7が所望の狭帯域化された基本波光L1となるように波長制御を行う。これによって、出力光L3が紫外領域の光である場合、可視領域の長波長でかつ低パワーの基本波光L1で波長制御がなされるため、高精度で安定した波長制御を容易に行うことができる。

請求項（抜粋）：

オシレータ段でレーザ発振した発振波光を波長変換手段によって高調波光に波長変換し、この高調波光を増幅段によって増幅出力する注入同期型狭帯域レーザにおいて、前記オシレータ段の発振波長をモニタして該発振波長を所望の波長に制御する波長制御手段を具備したことを特徴とする注入同期型狭帯域レーザ。

IPC (3件)：

H01S 3/137 , H01S 3/109 , H01S 3/23

FI (3件)：

H01S 3/137 , H01S 3/109 , H01S 3/23 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-302888
光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-315088 出願人：株式会社ニコン
特開平3-150889

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