ワーク搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-029940
公開番号（公開出願番号）：特開2004-025427
出願日： 2003年02月06日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】ワーク落下防止の機能、ワークの載置位置に対する柔軟な位置調整機能を有するワーク保持手段を備えたワーク搬送装置を提供する。【解決手段】水平移動手段に設けられ、ワークを保持するワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段13とを備え、クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、ワーク保持手段は、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部26を有し、ワークの底面を保持するハンド32を前記ワーク保持部26の両側部の下端に対向して設けられている。また、ワーク保持手段が水平面内で移動可能な旋回手段40、ワークの向きを変えられる回転手段50が設けられ、載置条件に対し柔軟に対応できる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ワークを保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、前記ワーク保持手段は昇降手段の下部に設けられ、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けたことを特徴とするワーク搬送装置。

IPC (4件)：

B25J15/08 , B25J9/06 , B65G49/07 , H01L21/68

FI (4件)：

B25J15/08 D , B25J9/06 B , B65G49/07 L , H01L21/68 A

Fターム (28件)：

3C007AS25 , 3C007BS10 , 3C007BT05 , 3C007BT11 , 3C007BT14 , 3C007BT18 , 3C007CS05 , 3C007CV08 , 3C007CW08 , 3C007ES03 , 3C007EV02 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007HT04 , 3C007HT21 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031DA08 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA04 , 5F031FA09 , 5F031FA12 , 5F031GA12 , 5F031GA45 , 5F031GA58 , 5F031NA02 , 5F031PA08

引用特許：

審査官引用 (6件)

ワーク搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-042310 出願人：平田機工株式会社
天井走行車
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-257094 出願人：村田機械株式会社
特開昭60-076983

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