特許
J-GLOBAL ID：200903040238373260

ワーク搬送システム

発明者：
平田 耕也

平田 耕也 について

, 
平川 武則

平川 武則 について

, 
山本 明道

山本 明道 について


出願人/特許権者：
平田機工株式会社

平田機工株式会社 について


代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042310
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243808
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内における処理室やインターフェイス装置等の設置位置に対する制約を小さくする。クリーンルーム内の空間を有効に活用できるようにする。【解決手段】 クリーンルーム内には、処理室12及びインターフェイス装置13が設置されている。処理室12よりも上方の空間には、2本の固定ガイドレール21を配設し、固定ガイドレール21間には走行ガイドレール22を走行自在に架設する。走行ガイドレール22には、走行体23を走行自在に取付けてあり、走行自在にはワーク昇降装置20を取付け、ワーク昇降装置20にワーク保持部17を設ける。ワーク保持部17は、ワークを納めた密閉コンテナ16を掴んで任意の方向へ搬送することができ、インターフェイス装置13とワークの受け渡しを行なう。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内でワークを搬送するための搬送システムであって、ワークを保持するワーク保持部と、クリーンルーム内の床面よりも上方の空間で、前記ワーク保持部を任意の3次元方向に移動させることができる移動手段とを備えたワーク搬送システム。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  C12M 1/00
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  C12M 1/00 K
Fターム (23件)：
4B029AA17 ,  4B029AA27 ,  4B029BB01 ,  4B029CC01 ,  4B029CC02 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA58 ,  5F031LA08 ,  5F031LA09 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30 ,  5F031NA02 ,  5F031NA14 ,  5F031PA06 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (13件)
全件表示
審査官引用 (14件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM