特許
J-GLOBAL ID:200903002906860781

塗布液被塗布材の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-061215
公開番号(公開出願番号):特開2006-244917
出願日: 2005年03月04日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】 より良質な成膜を行える塗布液被塗布材の製造方法を提供する。【解決手段】塗布液を被塗布材表面に塗布してなる塗布液被塗布材の製造方法は、(1)前記被塗布材表面に塗布液を塗布して塗布液塗布層を形成する塗布液塗布層形成工程と、前記塗布液塗布層以上に形成される上層をガラス転移温度以上に加熱する加熱工程と、を含む方法と、(2)塗布液を塗布して塗布液塗布層を形成する塗布液塗布層形成工程と、前記被塗布材表面よりも濡れ性が大きい濡れ性保持層を形成する濡れ性保持層形成工程と、少なくとも前記濡れ性保持層以上に形成される上層をガラス転移温度以上に加熱する加熱工程と、を含み、前記濡れ性保持層形成工程により、濡れ性保持層を被塗布材表面に形成し、前記形成された濡れ性保持層上に、塗布液塗布層形成工程により塗布液塗布層を形成する方法とがある。【選択図】図6E
請求項(抜粋):
塗布液を被塗布材表面に塗布してなる塗布液被塗布材の製造方法であって、 前記被塗布材表面に塗布液を塗布して塗布液塗布層を形成する塗布液塗布層形成工程と、 前記塗布液塗布層以上に形成される上層をガラス転移温度以上に加熱する加熱工程と、を含む塗布液被塗布材の製造方法。
IPC (2件):
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (2件):
H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (6件):
3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)

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