特許
J-GLOBAL ID：200903002935943378
走査型露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022202
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 露光開始前の助走時にエラーが発生しても装置を停止することなく自動的にエラー処理を行って露光シーケンスを続行する。【解決手段】 マスク及び感光基板の走査開始後、露光開始前の助走中にフォーカスエラーが発生したときは(S15)、走査方向を逆方向に変更する(S17)。また、マスク及び感光基板の同期エラーが発生したときは(S16)、走査開始から露光開始までの助走距離が長くなるように装置に設定されている助走距離を変更する(S18)。この走査方向の変更が以後のスキャンシーケンスに影響を与えてスループットが低下するのを回避するため、エラー発生後に走査される全てのショット領域の走査方向を最初に設定した方向とは逆方向に変更する。
請求項（抜粋）：
マスクと感光基板を同期して走査しながら前記マスク上のパターンを投影光学系を介して前記感光基板上に配列された複数のショット領域の各々に逐次転写する走査型露光装置において、前記マスク及び感光基板の走査開始後露光開始前にフォーカスエラーが発生したとき、走査方向を逆方向に変更することを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
