静電チャック装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265557
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100916
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】静電チャック装置の吸着面の平面性、良好な熱伝導性を達成できるとともに、絶縁破壊を防止できるようにする。【解決手段】金属基盤12上に、弾性接着剤層14を介して吸着面30となる絶縁性吸着層22を有し、弾性接着剤層14と絶縁性吸着層22の間に電極18が形成され、通電手段27と通電手段27を電極28に電気的に接続するための接続手段26とを備えた給電手段が弾性接着剤層14を貫通して設けられており、金属基盤12には通電手段27を外部へ導くための貫通孔25bが形成されており、弾性接着剤層14と給電手段との間には弾性接着剤層14よりも電気的抵抗が高い高抵抗接着剤層14aが設けられている静電チャック装置。

請求項（抜粋）：

金属基盤上に、弾性接着剤層を介して吸着面となる絶縁性吸着層を有し、前記弾性接着剤層と絶縁性吸着層の間に電極が形成され、通電手段と該通電手段を前記電極に電気的に接続するための接続手段とを備えた給電手段が前記弾性接着剤層を貫通して設けられており、前記金属基盤には前記通電手段を外部へ導くための貫通孔が形成されており、前記弾性接着剤層と前記給電手段との間には該弾性接着剤層よりも電気的抵抗が高い高抵抗接着剤層が設けられていることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

Fターム (1件)：

5F031FF03

引用特許：

審査官引用 (7件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-323581 出願人：信越化学工業株式会社
静電チャック装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-023193 出願人：株式会社巴川製紙所
特開昭58-171233

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