特許

J-GLOBAL ID：200903008970760691

静電チャック

発明者： 都丸 一彦 ,  半田 隆一 ,  米山 勉 ,  荒井 正俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323581
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150098
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】ウエハとの密着性が良いために放熱性に優れ、かつ耐プラズマ性にも優れる静電チャックの提供。【解決手段】金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。

請求項（抜粋）：

金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B05C 11/08 ,  B25J 15/06 ,  C23C 14/50 ,  H02N 13/00

FI (5件)：

H01L 21/68 R ,  B05C 11/08 ,  B25J 15/06 S ,  C23C 14/50 A ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 耐食性静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-014327   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-092989   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246965   出願人：東陶機器株式会社
• 半導体ウェーハの保持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-308417   出願人：信越化学工業株式会社, 信越半導体株式会社
• 特開平2-027748