特許
J-GLOBAL ID：200903008970760691

静電チャック

発明者：
都丸 一彦

都丸 一彦 について

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半田 隆一

半田 隆一 について

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米山 勉

米山 勉 について

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荒井 正俊

荒井 正俊 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323581
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150098
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】ウエハとの密着性が良いために放熱性に優れ、かつ耐プラズマ性にも優れる静電チャックの提供。【解決手段】金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。
請求項（抜粋）：
金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B05C 11/08 ,  B25J 15/06 ,  C23C 14/50 ,  H02N 13/00
FI (5件)：
H01L 21/68 R ,  B05C 11/08 ,  B25J 15/06 S ,  C23C 14/50 A ,  H02N 13/00 D
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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