特許
J-GLOBAL ID:200903003016910230
圧電素子、及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-388315
公開番号(公開出願番号):特開2002-217465
出願日: 2001年12月20日
公開日(公表日): 2002年08月02日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 極めて高い圧電特性を有するとともに、セラミックス基体と圧電部間の振動伝達性に優れ、更には電界に対する屈曲変位の直線性が高く、大きな屈曲変位での長期間に至る使用においても高い耐久性を有する圧電素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 セラミックスからなる基体2と、例えば、Pb(Mg、Ni)1/3Nb2/3O3-PbZrO3-PbTiO3三成分固溶系組成物を主成分とする圧電磁器組成物からなる圧電部1と、電極3(3a,3b)とを備え、電極3は、圧電部1に電気的に接続され、圧電部1は、基体2に、直接又は電極3(3a,3b)を介して固着されている圧電素子とする。
請求項(抜粋):
セラミックスからなる基体と、下記一般式(1)に示すPb(Mg、Ni)1/3Nb2/3O3-PbZrO3-PbTiO3三成分固溶系組成物を主成分とする圧電磁器組成物からなる圧電部と、電極とを備え、該電極は、該圧電部に電気的に接続され、該圧電部は、該基体に、直接又は該電極を介して固着されていることを特徴とする圧電素子。【化1】Pbx{(Mg1-yNiy)1/3×aNb2/3}bTicZrdO3 ...(1)「式(1)中、0.95≦x≦1.05、0.05≦y≦0.20、0.90≦a≦1.10であり、かつb,c,dが、該b,c,dを座標軸とする座標中、(b,c,d)=(0.550,0.425,0.025),(0.550,0.325,0.125),(0.375,0.325,0.300),(0.100,0.425,0.475),(0.100,0.475,0.425),(0.375,0.425,0.200)で囲まれる範囲の小数である(但し、(b+c+d)=1.000である。)。」
IPC (5件):
H01L 41/09
, C04B 35/49
, H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/22
FI (5件):
C04B 35/49 R
, H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 F
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 S
Fターム (14件):
4G031AA03
, 4G031AA04
, 4G031AA05
, 4G031AA06
, 4G031AA09
, 4G031AA11
, 4G031AA12
, 4G031AA14
, 4G031AA23
, 4G031AA32
, 4G031AA39
, 4G031BA10
, 4G031CA03
, 4G031CA04
引用特許:
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