特許

J-GLOBAL ID：200903003060957643

蒸着処理用のマスキング部材の製造方法

発明者： 土屋 輝直
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-070893
公開番号（公開出願番号）：特開2003-272839
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：

【要約】【課題】 有機EL素子の低分子有機層及び陰極の蒸着パターニング形成を、精度良く、安定的にできるマタルマスク部材の製造方法を提供する。【解決手段】 (a)メタルマスク部をエッチング作製するための耐エッチング膜となるレジストパターンを、メタルマスク部の加工用素材である金属薄板に配設する、レジストパターン配設工程と、(b)レジストパターンを配設した金属薄板を枠体に貼り付ける、貼り付け工程と、(c)レジストパターンを耐エッチングマスクとして金属薄板をエッチングし、所定の開口をその一方の面側に設けた貫通孔を形成して、メタルマスク部を作製するエッチング加工工程とを行なう。

請求項（抜粋）：

蒸着作製するパターンに対応した所定の開口をその一方の面側に設けた蒸着物質を通過させるための貫通孔を有する金属薄板状のメタルマスク部を、枠体に固定した、蒸着処理用のマスキング部材の製造方法であって、順次、(a)メタルマスク部をエッチング作製するための耐エッチング膜となるレジストパターンを、メタルマスク部の加工用素材である金属薄板に配設する、レジストパターン配設工程と、(b)レジストパターンを配設した金属薄板を枠体に貼り付ける、貼り付け工程と、(c)レジストパターンを耐エッチングマスクとして金属薄板をエッチングし、所定の開口をその一方の面側に設けた貫通孔を形成して、メタルマスク部を作製するエッチング加工工程とを行なうことを特徴とする蒸着処理用のマスキング部材の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H04N 5/66 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H04N 5/66 Z ,  H05B 33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA01 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  5C058AA12 ,  5C058BA35

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シャドーマスクおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-148031   出願人：東レ株式会社
• メタルマスク構造体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-255781   出願人：日本電気株式会社