特許
J-GLOBAL ID：200903003066755694

水切り剤

発明者：
小松 利夫

小松 利夫 について

, 
佐竹 一義

佐竹 一義 について


出願人/特許権者：
ザ・インクテック株式会社

ザ・インクテック株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237712
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064785
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 水切り剤として、アルコール系等の有機溶剤や界面活性剤を含む水溶液からなる水切り剤よりも、細菌等の微生物の繁殖を抑え、保存性の優れた、有機溶剤を使用しない水切り性能を有する水切り剤の提供。【解決手段】 ノニオン系界面活性剤水溶液100重量部に対して、ベンゾイソチアゾリン-3-オン系化合物を0.01〜0.4重量部含有していることを特徴とする水切り剤。
請求項（抜粋）：
ノニオン系界面活性剤水溶液100重量部に対して、ベンゾイソチアゾリン-3-オン系化合物を0.01〜0.4重量部含有していることを特徴とする、水溶性感光性樹脂を用いたフォトエッチング現像処理用の水切り剤。
IPC (4件)：
C23F 1/00 101 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 23/50
FI (4件)：
C23F 1/00 101 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 23/50 A ,  H01L 21/30 569 A
Fターム (13件)：
2H096AA27 ,  2H096EA02 ,  2H096EA06 ,  2H096GA08 ,  2H096GA17 ,  2H096GA18 ,  2H096HA01 ,  4K057WA18 ,  4K057WE30 ,  4K057WN01 ,  4K057WN03 ,  5F046LA12 ,  5F067DA16
引用特許：
審査官引用 (7件)
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