特許
J-GLOBAL ID：200903003069440503

荷電ビーム描画装置

発明者：
小笠原 宗博

小笠原 宗博 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-099133
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273838
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】偏向アンプに対する負荷の増大を招くことなく、静電偏向器の高速高電圧動作を実現することができ、これによって描画速度の向上をはかる。【解決手段】荷電ビーム源から発生され荷電ビームを静電偏向器により偏向し、試料上の所望の位置に荷電ビームを照射することでパターンを描画する荷電ビーム描画装置であって、静電偏向器は、荷電ビームの光学軸を中心に点対称に配置された複数の偏向電極51と、光学軸と同軸的に配置され、偏向電極51を囲むように設けられた接地外筒52と、接地外筒の内側表面に設けられた抵抗膜53と、抵抗膜53の表面に設けられた導電膜とを具備し、偏向電極51と導電膜との間に静電容量が形成され、接地導体52と導電膜との間に電気抵抗が形成される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
荷電ビーム源から発生された荷電ビームを試料上の所望の位置に照射することでパターンを描画する荷電ビーム描画装置であって、 前記荷電ビーム源よりも下流側に荷電ビームを電場によって偏向するための静電偏向器が設けられており、該静電偏向器の偏向電極と接地面との間は直流的には絶縁され、該静電偏向器の偏向電極と接地面との間に静電容量と電気抵抗が直列に配置されていることを特徴とする荷電ビーム描画装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01J 37/305 ,  H01J 37/147
FI (4件)：
H01L21/30 541B ,  G03F7/20 504 ,  H01J37/305 B ,  H01J37/147 C
Fターム (9件)：
2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG02 ,  5C034BB04 ,  5F056AA02 ,  5F056CB05 ,  5F056CB12 ,  5F056EA06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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