荷電ビーム描画装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348166
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173522
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】静電偏向器に静電レンズ用の高電圧を印加する荷電ビーム描画装置の高精度な高速偏向系を実現することを目的とする。【解決手段】複数の高速偏向用のアンプをその電源ごと絶縁してそれぞれの基準電位を静電レンズ用の高圧電源の出力に一致させ、高圧電源の基準電位は電子光学鏡筒に一致させ、高速偏向アンプの出力電圧を静電偏向電極に印加して、さらに対向する電極には極性が逆の偏向電圧を印加して高精度な高速偏向系を具備した荷電描画装置。

請求項（抜粋）：

静電偏向器に一定の電圧を印加して荷電ビームを収束させる静電レンズの機能を持たせた荷電ビ-ム描画装置において、荷電ビーム偏向用の複数の高速アンプを電源と共に絶縁させてその基準電位を静電レンズの高圧電源出力に一致させ高圧電源の基準電位を電子光学鏡筒に一致させて高速アンプの出力を静電偏向器の電極に印加して荷電ビームの偏向と収束の両方の機能を持たせたことを特徴とする荷電ビ-ム描画装置。

IPC (5件)：

H01J 37/147 , G03F 7/20 504 , H01J 37/12 , H01J 37/305 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/147 C , G03F 7/20 504 , H01J 37/12 , H01J 37/305 B , H01L 21/30 541 B

Fターム (15件)：

2H097AA03 , 2H097BB03 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C033CC02 , 5C033CC06 , 5C033GG01 , 5C033GG02 , 5C034BB02 , 5C034BB04 , 5F056AA02 , 5F056AA12 , 5F056AA16 , 5F056CB12 , 5F056EA06

引用特許：

審査官引用 (11件)

電子線描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-245500 出願人：株式会社日立製作所
電子ビーム偏向方法及び電子ビーム描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-178130 出願人：株式会社日立製作所
特開昭62-069455

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