特許
J-GLOBAL ID：200903003185608098
微細孔に電気めっきを柱状に析出させる方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-024050
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223689
出願日： 1997年02月06日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 微細孔を有する基板の微細孔部に電気めっきをすることにより、柱状のバンプ電極を形成することができる電気めっき方法を提供すること。【解決手段】 めっきを微細孔内に施すにあたり、電源としてデューティー比が1/39〜1/1(2.5〜50%)であって、周波数が100Hz〜10KHz のパルス電源を用いて電気めっきを行うことを含む微細孔に電気めっきを柱状に析出させる方法。
請求項（抜粋）：
めっきを微細孔内に施すにあたり、電源としてデューティー比が1/39〜1/1(2.5〜50%)であって、周波数が100Hz〜10KHzのパルス電源を用いて電気めっきを行うことを特徴とする微細孔に電気めっきを柱状に析出させる方法。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/321
H01L 21/60 311 S
, H01L 21/92 604 B
