環状オレフィン共重合体を含んでなるインプリントスタンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：吉武賢次 , 中村行孝 , 紺野昭男 , 横田修孝 , 浅野真理
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-162328
公開番号（公開出願番号）：特開2007-055235
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】インプリント製法でテンプレートから物体にパターンを転写するための、2工程製法を使用する方法を提供する。【解決手段】第一工程では、テンプレート1表面のパターン2を、一種以上の環状オレフィン共重合体(COC)を含んでなる重合体材料3と接触させ、テンプレート1表面のパターン2と逆の構造化された表面を有する可撓性重合体レプリカを製造する。第二工程で、可撓性重合体レプリカをテンプレートから引き離した後、可撓性重合体レプリカの逆パターンを、基材上のレジスト層14中にプレスし、テンプレート表面のパターンのレプリカをインプリントする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面上に構造化されたパターンが形成されている重合体フィルムを含んでなる、インプリント製法に使用する重合体スタンプであって、前記重合体フィルムが、一種以上の環状オレフィン共重合体(COC)を含んでなる材料から製造される、重合体スタンプ。

IPC (2件)：

B29C 59/02 , H01L 21/027

FI (2件)：

B29C59/02 B , H01L21/30 502D

Fターム (11件)：

4F209AA03 , 4F209AA12 , 4F209AF01 , 4F209AG01 , 4F209AG05 , 4F209AJ08 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PQ11 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (5件)

成形品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-248035 出願人：株式会社クラレ
成形体の製造方法および樹脂型
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-279562 出願人：日本ゼオン株式会社
非粘着性のモールドを使用する、パターン化された構造の複製
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-534116 出願人：ブルーワーサイエンスアイエヌシー.

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