特許

J-GLOBAL ID：200903003236465483

マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法および装置

発明者： レオ タンテン ,  ヨッヘン フランツ ,  マルティン シェフターラー ,  マリウス ローア ,  ハラルト エメリッヒ ,  マティアス マウテ ,  トーマス ヴァルカー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-532944
公開番号（公開出願番号）：特表2004-510984
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

本発明は、マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための次のような方法に関する。すなわち、該マイクロメカニカル構成部材には、基板(SU)の上方に固定的に懸架された第1コンデンサ電極(F1)と、基板(SU)の上方に固定的に懸架された第2コンデンサ電極(F2)と、前記第1コンデンサ電極(F1)と前記第2コンデンサ電極(F2)との間に配置され基板(SU)の上方に弾性変位可能であるように懸架された第3コンデンサ電極(B)と、前記のように構成された可変コンデンサ(F1,B;B,F2)のキャパシタンス(C1,C1’;C2,C2’)の容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられている方法に関する。ここでは、第1電位(VF1)が第1コンデンサ電極(F1)に印加され、第2電位(VF2)が第2コンデンサ電極(F2)に印加され、第3電位(VB)が第3コンデンサ電極(B)に印加され、第4電位(VS)が基板(SU)に印加される。基板(SU)に印加される第4電位(VS)は、容量差検出装置の動作のために電気的ゼロ点調整するために変更される。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法であって、該マイクロメカニカル構成部材には、 基板(SU)の上方に固定的に懸架された第1コンデンサ電極(F1)と、 基板(SU)の上方に固定的に懸架された第2コンデンサ電極(F2)と、 前記第1コンデンサ電極(F1)と前記第2コンデンサ電極(F2)との間に配置され、基板(SU)の上方に弾性変位可能であるように懸架された第3コンデンサ電極(B)と、 前記のように構成された可変コンデンサ(F1,B;B,F2)のキャパシタンス(C1,C1’;C2,C2’)の容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられており、 第1電位(VF1)を前記第1コンデンサ電極(F1)に印加するステップと、 第2電位(VF2)を前記第2コンデンサ電極(F2)に印加するステップと、 第3電位(VB)を前記第3コンデンサ電極(B)に印加するステップと、 第4電位(VS)を基板(SU)に印加するステップとを含む形式の方法において、 基板(SU)に印加される第4電位(VS)を変化させることにより、容量差検出装置の動作のための電気的ゼロ点を調整をすることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01P15/125 ,  G01P21/00

FI (2件)：

G01P15/125 V ,  G01P21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 容量式加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-243704   出願人：株式会社デンソー
• 静電サーボ式の加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-198143   出願人：日本電装株式会社
• 半導体力学量センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-367421   出願人：株式会社デンソー