特許
J-GLOBAL ID：200903003258820996
平行線型マスクおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細井 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141575
公開番号（公開出願番号）：特開2001-323365
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】本発明は、スプライト幅すなわちピッチのバラツキが少なく平行ピッチが高精度に保持された単繊維からなる平行線型マスクを提供するものである。【解決手段】本発明の平行線型マスクは、(1)平行線マスク部を形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又は緯糸の平行ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布をマスクフレーム又は平板状基体に固着し、緯糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形成する。また(2)平行線マスク部を形成する経糸を、金筬又はピッチゲージ治具を用いて平行配置し、伸張状態でマスクフレーム又は平板状基体に固着し平行線マスク部を形成することによって製造することができる。本発明の方法によれば,従来のフォトリソグラフィーによる方法に比べ製造工程が著しく短縮されるとともに、平行ピッチが330μmのような極く微細な場合であっても、スプライト幅すなわちピッチのバラツキが極めて少なく平行ピッチが高精度に保持された平行線型マスクとすることができる。本発明の平行線型マスクは、例えば蒸着用マスクなどに好適に使用することができる。
請求項（抜粋）：
合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸がマスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線部を形成してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基体に固着されていることを特徴とする平行線型マスク。
IPC (4件)：
C23C 14/04
, D03D 1/00
, D03D 13/00
, D03D 15/06
C23C 14/04 A
, D03D 1/00 Z
, D03D 13/00
, D03D 15/06
4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4L048AA06
, 4L048AA07
, 4L048AA19
, 4L048AB10
, 4L048BC04
, 4L048CA15
