特許
J-GLOBAL ID：200903003279918058
脆性部材の加工方法および両面粘着シート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401043
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203822
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：
【要約】【課題】 ウエハのような脆性部材を極薄にまで研削でき、しかも後工程におけるハンドリング性の向上が可能な、脆性部材の加工方法ならびに該加工方法に好ましく用いられる両面粘着シートを提供すること。【解決手段】 本発明に係る脆性部材の加工方法は、第1の粘着剤層、第1のフィルム、該第1のフィルムに対し剥離可能に接着された第2のフィルムおよび第2の粘着剤層がこの順に積層され、第1のフィルムおよび第2のフィルムの少なくとも一方が収縮性フィルムである両面粘着シートの第1の粘着剤層に脆性部材が積層され、第2の粘着剤層に硬質板が積層した状態とした後、収縮性フィルムを収縮させて、第1のフィルムと第2のフィルムとの間で剥離を行い、前記脆性部材から第1のフィルムを剥離する工程からなり、第1のフィルムと第2のフィルムとの間を剥離する以前の任意の段階で、前記脆性部材の加工を行うことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
第1の粘着剤層、第1のフィルム、該第1のフィルムに対し剥離可能に接着された第2のフィルムおよび第2の粘着剤層がこの順に積層され、第1のフィルムおよび第2のフィルムの少なくとも一方が収縮性フィルムである両面粘着シートの第1の粘着剤層に脆性部材が積層され、第2の粘着剤層に硬質板が積層した状態とした後、収縮性フィルムを収縮させて、第1のフィルムと第2のフィルムとの間で剥離を行い、前記脆性部材から第1のフィルムを剥離する工程からなり、第1のフィルムと第2のフィルムとの間を剥離する以前の任意の段階で、前記脆性部材の加工を行うことを特徴とする脆性部材の加工方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, H01L 21/304
, C09J 7/02
, H05K 3/00
H01L 21/304 622 N
, H01L 21/304 622 J
, C09J 7/02 Z
, H05K 3/00 J
4J004AA04
, 4J004AA05
, 4J004AA08
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004CA03
, 4J004CA04
, 4J004CA05
, 4J004CA06
, 4J004CB03
, 4J004CC03
, 4J004CD10
, 4J004CE01
, 4J004EA05
, 4J004FA08
, 4J004FA10
