特許
J-GLOBAL ID:200903003372681831
透明液体検査装置、および透明液体検査方法、および透明液体塗布方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-243501
公開番号(公開出願番号):特開2002-054905
出願日: 2000年08月11日
公開日(公表日): 2002年02月20日
要約:
【要約】【課題】 基材上の多数個取り製品に塗布される透明液体の表面張力が弱い場合であっても基材と透明液体との境界部分の識別ができ、基材の背景に影響されることなく透明液体の塗布状態を自動的に検査できる透明液体検査装置を提供する。【解決手段】 透明液体を複数個塗布したシ-ト7を搬送装置に流し、前記透明液体上部に照明装置1を設置し、前記透明液体の液面を鏡面としてそこに照明用光源2の投影像を写し、その投影像をカメラ41〜44にて撮像し、その画像を画像処理装置8にて解析することにより前記透明液体の所定の塗布位置からの変位量および前記透明液体の液面の拡がりを検査する。
請求項(抜粋):
多数個取り製品それぞれに透明液体が塗布された基材と、前記透明液体に照明照射を行う照明手段と、前記透明液体の液面に投影された前記照明手段の形状を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの画像に基いて前記基材と前記透明液体との境界部分の輝度成分を演算し、前記輝度成分に基いて前記透明液体の液面の拡がりを演算するとともに、前記透明液体の液面の拡がりのデータを統計的に処理し前記透明液体全体の所定の塗布位置からの変位量を演算する演算手段とを備えることを特徴とする透明液体検査装置。
IPC (3件):
G01B 11/00
, B05D 3/00
, G01B 11/02
FI (3件):
G01B 11/00 H
, B05D 3/00 D
, G01B 11/02 H
Fターム (24件):
2F065AA54
, 2F065BB02
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065CC31
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065GG03
, 2F065GG10
, 2F065JJ22
, 2F065LL11
, 2F065LL30
, 2F065NN02
, 2F065PP15
, 2F065QQ31
, 2F065QQ41
, 2F065QQ43
, 2F065RR08
, 4D075BB91Z
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075EA07
, 4D075EA43
引用特許:
審査官引用 (11件)
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特開平3-120407
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特開平3-120407
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透明物体の検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-124737
出願人:松下電器産業株式会社
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貼附物の位置検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-040357
出願人:株式会社キリンテクノシステム
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特開昭63-015380
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特開昭63-015380
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電子部品の製造方法及び製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-128908
出願人:松下電子工業株式会社
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微細部品の組立装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-073853
出願人:株式会社リコー
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透明物体の検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-124720
出願人:香川大学長, 松下寿電子工業株式会社
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半導体素子用透明樹脂量検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-128798
出願人:株式会社東芝
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ポツテイング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-157252
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社新川
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