特許

J-GLOBAL ID：200903003408986847

液浸露光用液体およびその製造方法

発明者： 宮松 隆 ,  王 勇
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-032639
公開番号（公開出願番号）：特開2006-222186
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：

【課題】 純水よりも屈折率が大きく、優れた透過性を有し、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分(とりわけ親水性成分)の溶出や溶解を防ぎ、レンズを浸食せずレジストパターンの生成時の欠陥を抑えることができ、かつ、液浸用液体として使用した場合、液体中の気泡に起因した欠陥の発生がなく、より解像度および焦点深度の優れたパターンを形成できる。【解決手段】 投影光学系のレンズと基板との間に満たされた液体を介して露光する液浸露光装置または液浸露光方法に用いられる液体であって、該液体は、液浸露光装置が作動する温度領域において液体であり、炭素数6〜13の鎖状飽和炭化水素化合物を精製することにより得られる光路長1mmにおける波長193nmの放射線透過率が90%以上である。【選択図】 無

請求項（抜粋）：

投影光学系のレンズと基板との間に満たされた液体を介して露光する液浸露光装置または液浸露光方法に用いられる液体であって、該液体は、前記液浸露光装置が作動する温度領域において液体であり、炭素数6〜13の鎖状飽和炭化水素化合物を精製することにより得られる光路長1mmにおける波長193nmの放射線透過率が90%以上であることを特徴とする液浸露光用液体。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 515D

Fターム (1件)：

5F046CB01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341445   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光方法及び装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP1999001262   出願人：株式会社ニコン
• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン