特許

J-GLOBAL ID：200903003483359742

アダマンチルアルキルビニルエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

発明者： 崔 相 俊
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (6件)： 八田 幹雄 ,  野上 敦 ,  奈良 泰男 ,  齋藤 悦子 ,  宇谷 勝幸 ,  藤井 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-176840
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043807
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】製造コストが低く、かつ、乾式エッチングに対する耐性を十分に確保すると共に、下部膜質に対する優れた接着特性を有する感光性ポリマーを提供する。【解決手段】下記化学式1で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマーにより上記課題は解決される。【化1】(式中、xは1〜4の整数であり、R1は水素原子またはメチル基であり、R2は酸により分解可能なC4〜C20の炭化水素基であり、p/(p+q+r)=0.1〜0.4、q/(p+q+r)=0.2〜0.5、r/(p+q+r)=0.1〜0.4である。)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記化学式1で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマー。

IPC (7件)：

C08F220/10 ,  C08F216/16 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (7件)：

C08F220/10 ,  C08F216/16 ,  C08F222/06 ,  C08F232/04 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (37件)：

2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AE09Q ,  4J100AK32P ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AR11S ,  4J100BA06R ,  4J100BA15S ,  4J100BC07R ,  4J100BC07S ,  4J100BC08R ,  4J100BC08S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA36 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-003702   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-296881   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 感光性樹脂組成物及び感光性転写シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-011907   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開平1-102501