特許
J-GLOBAL ID：200903003527622535
連続研磨装置の研磨具のドレッシング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-360914
公開番号（公開出願番号）：特開2005-125420
出願日： 2003年10月21日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】回転する研磨具を備えた連続研磨装置における研磨具の目詰まりを防止し、容易に研磨面の平坦度を修正する効率の良いドレッシング方法を提供する。【解決手段】本発明は、搬送コンベヤー20の所定位置に板ガラス1を載置して移送し、搬送コンベヤー20の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置で、板ガラス1と略同寸法の板状体5bと、研磨パッド2の板ガラス1との接触面全体に当接する領域に埋設された所定の粗面を有するドレッサー5aとを具備するドレッシングプレート5を準備して、ドレッシングプレート5を搬送コンベヤー20に載置して移送し、回転する研磨パッド2に接触させることにより研磨パッド2をドレッシングする方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
搬送コンベヤーの所定位置に板ガラスを載置して移送し、該搬送コンベヤーの上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置の研磨具をドレッシングする方法であって、
前記板ガラスと略同寸法の板状体と、前記研磨具の板ガラスとの接触面全体に当接する該板状体の領域に所定の粗面を露出させて設けられたドレッサー部材とを具備するドレッシングプレートを準備し、該ドレッシングプレートを前記搬送コンベヤーの前記所定位置に載置して移送し、回転する研磨具に接触させることにより研磨具をドレッシングすることを特徴とする連続研磨装置の研磨具のドレッシング方法。
IPC (3件)：
B24B53/02
, B24B7/24
, B24B37/00
B24B53/02
, B24B7/24 A
, B24B37/00 A
3C043BB06
, 3C043CC07
, 3C043DD06
, 3C047BB01
, 3C058AA06
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA19
, 3C058CA06
, 3C058CB03
, 3C058CB04
, 3C058CB05
