特許
J-GLOBAL ID：200903041343760632
ポリシング工具の修正用工具
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229395
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018172
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】アルミハードディスク、ガラスハードディスク及びシリコンウエハ等、電子・光学部品を高品位、超精密にポリシングする工具、例えば、ポリシングパッド、不織布等の修正に要する時間を短縮し、被加工物のポリシングレイトの安定化と高品位な仕上げ面を得る。【解決手段】円盤状の台金の片側面又は両側面に、電着法により超砥粒を保持させた修正要工具とする。台金は、被加工物と同一又はそれに近似する形状が好ましく、超砥粒層の面積は台金側面の面積に対して10%〜100%とする。
請求項（抜粋）：
アルミハードディスク、ガラスハードディスク、及びシリコンウエハのポリシングに用いられる各種ポリシング工具の修正用工具であって、円盤状の台金の片側面又は両側面に、電着法により超砥粒を保持させたことを特徴とするポリシング工具の修正用工具。
Fターム (2件)：
引用特許：
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