石英ガラスの接合方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-241637
公開番号（公開出願番号）：特開2003-054971
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【目的】石英ガラス部品の接着を比較的低温で、かつ高品質に行う。【解決手段】石英ガラス部品の接合部を水に濡らした状態で密着させ、密着部に所定の圧力を加えた状態で、接合部界面の水が乾かないうちに、石英ガラスの転移点より高く軟化点より低い温度で加熱する。

請求項（抜粋）：

複数の石英ガラス部品を接合する方法であって、各石英ガラス部品の接合面を研磨し、さらに化学的に清浄化する第一の工程と、清浄化した前記各石英ガラス部品の接合面を水で濡らし、その接合面同士を密着させる第二の工程と、前記接合面同士を密着させた部分に所定の圧力を加える第三の工程と、前記密着させた接合面同士の間に介在する水分が乾燥しないうちに、前記所定の圧力が加えられた状態の接合面密着部分を当該石英ガラス材料の転移点より高くかつ軟化点より低い温度で加熱し、加熱を所定の時間継続することにより当該接合面密着部分において前記複数の石英ガラス部品の接合を行う第四の工程とを含むことを特徴とする石英ガラスの接合方法。

IPC (2件)：

C03B 23/20 , C03C 27/06

FI (2件)：

C03B 23/20 , C03C 27/06

Fターム (15件)：

4G061AA02 , 4G061BA05 , 4G061BA12 , 4G061CA02 , 4G061CB07 , 4G061CB12 , 4G061CC01 , 4G061DA05 , 4G061DA06 , 4G061DA09 , 4G061DA13 , 4G061DA15 , 4G061DA23 , 4G061DA42 , 4G061DA67

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガラス材の接着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-083317 出願人：直江津電子工業株式会社
特開昭63-222030
特開昭63-201026

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