超純水製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076982
公開番号（公開出願番号）：特開平7-284799
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】水道水又はこれに準ずる水質の原水を、生物処理手段を含む前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置で処理して超純水を製造するに当り、前処理装置のTOC濃度を低減する。【構成】前処理装置に化学的酸化処理手段及び生物処理手段を設ける。【効果】化学的酸化処理手段により、生物難分解性のTOC成分であるフミン質が効率的に分解される。後段の一次純水製造装置及び二次純水製造装置の負荷が大幅に軽減され、これら一次又は二次純水製造装置の逆浸透膜分離装置、イオン交換純水装置、低圧紫外線酸化装置といった、設備費、運転費が共に高価な装置の不要化、或いは、運転費の低減及び装置の小型化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

水道水又はこれに準ずる水質の原水を前処理する前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製造装置において、該前処理装置は、化学的酸化処理手段及び生物処理手段を含むことを特徴とする超純水製造装置。

IPC (11件)：

C02F 9/00 501 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 9/00 503 , C02F 9/00 504 , C02F 1/32 , C02F 1/72 , C02F 1/72 101 , C02F 1/78 , C02F 3/06 , C02F 3/10

引用特許：

出願人引用 (6件)

超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-225681 出願人：栗田工業株式会社
有機物含有水の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-076632 出願人：栗田工業株式会社
特開昭62-282689

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審査官引用 (3件)

超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-225681 出願人：栗田工業株式会社
有機物含有水の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-076632 出願人：栗田工業株式会社
特開昭62-282689

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