特許
J-GLOBAL ID：200903003707634140
洗浄方法および洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084159
公開番号（公開出願番号）：特開平7-265817
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 被洗浄物の最良な洗浄品質を得る。【構成】 水系洗浄剤2により脱脂するかまたは親水性溶剤を主成分とする準水系洗浄剤により脱脂する(第1工程)。水または純水4で洗浄・リンスする(第2工程)。イソプロピルアルコール5で脱水する(第3工程)。イソプロピルアルコール5を非水系溶剤6で置換して被洗浄物11を洗浄する(第4工程)。当該非水系溶剤6の減圧下でベーパー洗浄・乾燥を行う(第5工程)。
請求項（抜粋）：
水系洗浄剤により脱脂するかまたは親水性溶剤を主成分とする準水系洗浄剤により脱脂する第1工程と、水または純水で洗浄・リンスする第2工程と、イソプロピルアルコールで脱水する第3工程と、イソプロピルアルコールを非水系溶剤で置換して被洗浄物を洗浄する第4工程と、当該非水系溶剤の減圧下でベーパー洗浄・乾燥を行う第5工程とからなる洗浄方法。
IPC (3件)：
B08B 3/08
, C23G 5/032
, C23G 5/04
