特許
J-GLOBAL ID:200903003743301514

搬送用緩衝材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-315737
公開番号(公開出願番号):特開2007-119020
出願日: 2005年10月31日
公開日(公表日): 2007年05月17日
要約:
【課題】FOSB(基板収納容器)の種類が異なっても使用でき、しかも搬送時の振動や衝撃から半導体ウエハを好適に保護することができる搬送用緩衝材を提供する。【解決手段】カートンボックス内に配置される方形筒状の緩衝材本体11と、緩衝材本体の各側面の外側に所定の間隔をもって突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第1の突出部12a〜12hと、緩衝材本体の角部の外側に、緩衝材本体の側面延長方向に突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第2の突出部13a〜13hと、緩衝材本体の各側面の内側に所定の間隔をもって突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第3の突出部14a〜14hとを備え、第3の突出部が基板収納容器の側面に当接すると共に、第1、第2の突出部がカートンボックス内側面に当接する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板収納容器をカートンボックスに収納する際に、カートンボックスと基板収納容器との間の配置される搬送用緩衝材であって、 前記カートンボックス内に配置される方形筒状の緩衝材本体と、 前記緩衝材本体の各側面の外側に所定の間隔をもって突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第1の突出部と、 前記緩衝材本体の角部の外側に、緩衝材本体の側面延長方向に突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第2の突出部と、 前記緩衝材本体の各側面の内側に所定の間隔をもって突出し、筒状の緩衝材本体の軸線方向に延設された断面形状が台形状の第3の突出部とを備え、 前記第3の突出部が前記基板収納容器の側面に当接すると共に、第1、第2の突出部がカートンボックス内側面に当接することを特徴とした搬送用緩衝材。
IPC (1件):
B65D 81/113
FI (2件):
B65D81/06 102A ,  B65D81/06 102Z
Fターム (11件):
3E066AA03 ,  3E066AA09 ,  3E066BA01 ,  3E066CA01 ,  3E066CA03 ,  3E066DA01 ,  3E066DB01 ,  3E066HA01 ,  3E066JA01 ,  3E066KA01 ,  3E066NA43
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • ウェーハ容器緩衝体
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-332851   出願人:鐘淵化学工業株式会社
  • 特開昭62-039468
  • 緩衝包装材
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-339540   出願人:積水化成品工業株式会社

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