特許
J-GLOBAL ID:200903003846204045
エポキシ樹脂組成物及び半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-026279
公開番号(公開出願番号):特開2000-226497
出願日: 1999年02月03日
公開日(公表日): 2000年08月15日
要約:
【要約】【課題】 成形性、耐パッシベーションクラック性、耐温度サイクル性、耐半田クラック性に優れ、微細配線半導体素子の封止用に適し、且つ表面実装用の小型・薄型パッケージの封止に適したエポキシ樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 エポキシ樹脂、フェノール樹脂、球状溶融シリカ、硬化促進剤、及び低応力剤を必須成分とし、全球状溶融シリカ中の粒径53μm以上の粒子が7重量%以下、最大粒径75μm以下、球状溶融シリカの含有量が全エポキシ樹脂組成物中に80〜92重量%で、低応力剤の含有量が全エポキシ樹脂組成物中に4重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
請求項(抜粋):
(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)球状溶融シリカ、(D)硬化促進剤、及び(E)低応力剤を必須成分とし、全球状溶融シリカ中の粒径53μm以上の粒子が7重量%以下、最大粒径75μm以下、球状溶融シリカの含有量が全エポキシ樹脂組成物中に80〜92重量%で、低応力剤の含有量が全エポキシ樹脂組成物中に4重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
IPC (4件):
C08L 63/00
, C08K 3/36
, H01L 23/29
, H01L 23/31
FI (4件):
C08L 63/00 B
, C08L 63/00 C
, C08K 3/36
, H01L 23/30 R
Fターム (38件):
4J002AC033
, 4J002CC032
, 4J002CC052
, 4J002CC072
, 4J002CD041
, 4J002CD051
, 4J002CD061
, 4J002CD071
, 4J002CD131
, 4J002CP033
, 4J002DJ017
, 4J002EJ046
, 4J002EN068
, 4J002EU118
, 4J002EU208
, 4J002EW018
, 4J002FA087
, 4J002FD142
, 4J002FD146
, 4J002FD158
, 4J002GQ05
, 4M109AA01
, 4M109BA01
, 4M109CA21
, 4M109EA02
, 4M109EA06
, 4M109EB03
, 4M109EB04
, 4M109EB06
, 4M109EB07
, 4M109EB08
, 4M109EB13
, 4M109EB16
, 4M109EB19
, 4M109EC03
, 4M109EC04
, 4M109EC05
, 4M109EC20
引用特許:
審査官引用 (6件)
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半導体装置の製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-074246
出願人:日東電工株式会社
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半導体封止用樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-308392
出願人:住友ベークライト株式会社
-
熱硬化性樹脂成形材料
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-264032
出願人:株式会社日立製作所
-
特開昭62-096567
-
樹脂封止型半導体装置の製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-233263
出願人:株式会社日立製作所
-
特開昭62-096567
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