特許

J-GLOBAL ID：200903003869572149

除振機構

発明者： 羽持 満
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-012447
公開番号（公開出願番号）：特開2009-174604
出願日： 2008年01月23日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】本発明は除振機構に関し、装置の高さを増やすことなく、除振性能を向上させることができる除振機構を提供することを目的としている。【解決手段】精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記ベローズを同心状に配置する構成と、真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、を含んで構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、2段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、 前記ベローズを同心状に配置する構成と、 真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、 を含むことを特徴とする除振機構。

IPC (2件)：

F16F 15/02 ,  F04D 19/04

FI (2件)：

F16F15/02 C ,  F04D19/04 Z

Fターム (8件)：

3H131AA02 ,  3H131BA07 ,  3H131CA37 ,  3H131CA39 ,  3J048AD07 ,  3J048BF02 ,  3J048BF16 ,  3J048EA07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-028320   出願人：三菱重工業株式会社
• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-033696   出願人：三菱重工業株式会社

審査官引用 (2件)

• ダンパ装置、及び真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-097861   出願人：ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
• ターボ分子ポンプの振動抑制器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-243068   出願人：日本電子株式会社