除振装置

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：藤田考晴 , 上田邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033696
公開番号（公開出願番号）：特開2006-220204
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：

【課題】真空雰囲気中に配置でき、真空雰囲気中で作動される除振対象物に対して良好な除振を行える除振装置を提供することを目的とする。【解決手段】除振対象3を支持する天板7の下部に除振機構9を備える除振装置1において、除振機構9は、上金属ベローズ23と下金属ベローズ25とが間に任意の質量を有する結合部材21を互いに連通するように介在させて直列に連結されたベローズ結合体17を備えていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

除振対象物を支持する天板の下部に除振機構を備える除振装置において、前記除振機構は、複数の金属ベローズがそれぞれの間に任意の質量を有する結合部材を互いに連通するように介在させて直列に連結されたベローズ結合体を備えていることを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 , F16F 9/04

FI (3件)：

F16F15/02 M , F16F15/02 A , F16F9/04

Fターム (6件)：

3J048AB08 , 3J048AD01 , 3J048CB13 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 3J069AA24

引用特許：

出願人引用 (1件)

除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-254853 出願人：藤倉ゴム工業株式会社

審査官引用 (5件)

除振装置及びベローズアッセンブリ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-247563 出願人：藤倉ゴム工業株式会社
免震装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-307286 出願人：川崎重工業株式会社
アクティブ型除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-050462 出願人：株式会社フジタ, 特許機器株式会社

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