特許
J-GLOBAL ID:200903003901799533
ペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜、その製造方法及びそれを用いた赤外線検出素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小池 隆彌
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-169336
公開番号(公開出願番号):特開2000-095522
出願日: 1999年06月16日
公開日(公表日): 2000年04月04日
要約:
【要約】【課題】 電子冷却温度範囲においても、使用可能となるペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜、及びそれを用いた高感度な赤外線検出素子を得る。【解決手段】 CaまたはSr元素およびLa,Mn,Oの元素を含むペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜において、電子冷却温度範囲内に金属-絶縁体相転移温度が存在することを特徴とし、さらに、前記薄膜がゾルーゲル法にて作製されたペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜であることを特徴とし、前記薄膜を用いて、赤外線検出素子を提供することを特徴とする。
請求項(抜粋):
CaまたはSr元素およびLa,Mn,Oの元素を含むペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜において、電子冷却温度範囲内に金属-絶縁体相転移温度が存在することを特徴とするペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜。
IPC (4件):
C01G 45/00
, G01J 1/02
, H01L 37/00
, H01L 31/0264
FI (4件):
C01G 45/00
, G01J 1/02 C
, H01L 37/00
, H01L 31/08 M
引用特許: