特許
J-GLOBAL ID：200903003915534079
インクジェット記録ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305584
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138825
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 本発明は撥水処理されているインクジェット記録ヘッドの製造工程の合理化を課題とする。【解決手段】 複数個のオリフィスが形成されているオリフィスプレートが、前記インク通路の形成する工程と、その表面が撥水性被膜となっている2層構造の樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程と、フォトドライエッチングによって該樹脂フイルムに前記複数個のオリフィスを形成加工する工程より形成されるようにした。
請求項（抜粋）：
Si基板の第1面上に形成された複数個のヒータと、該ヒータを駆動するべく同一Si基板上に形成された駆動用LSIと、該ヒータにパルス通電することによって該ヒータと垂直の方向にインク滴を吐出する複数個のオリフィスと、該ヒータとオリフィスのそれぞれに対応して該Si基板上に設けられた複数個の個別インク通路と、該個別インク通路の全てが連通するべく前記Si基板上に設けられた共通インク通路と、該共通インク通路の全長にわたって連通するよう前記Si基板に設けられたインク溝と、該インク溝が前記Si基板の第1面の裏面である第2面と連通するべく該S1基板の第2面に穿たれた1個以上のインク供給穴とからなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記複数個のオリフィスが形成されているオリフィスプレートが、前記インク通路の形成する工程と、その表面が撥水性被膜となっている2層構造の樹脂フイルムを前記インク通路の上に貼りつける工程と、フォトドライエッチングによって該樹脂フイルムに前記複数個のオリフィスを形成加工する工程より形成されることをを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
