特許
J-GLOBAL ID：200903003950002837
3次元周期構造体及び2次元周期構造体並びにそれらの作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060838
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258645
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 フォトニックバンドギャップ効果を増大できるように図った3次元周期構造体および作製方法の提供。【解決手段】 屈折率の異なる複数種類の物質301、302が厚さ方向に周期的に積層された3次元周期構造体であって、厚さ方向の1周期内でそれぞれの物質が2次元の周期的凹凸を持つ膜状または2次元周期的な網状の形をなし、それぞれの物質からなる領域の面内の厚さが面内で変調されている。各物質301、302は上面、下面が2次元的凹凸周期構造を有し、厚さ方向の1周期内で、複数の方向からある物質の原料物質を入射させることで、その物質の上面の凹凸は下面の凹凸よりも強調され、別のある物質は再付着効果を持つデポジションまたはエッチングにより上面の凹凸は下面の凹凸よりも弱められる。これら工程によりそれぞれの物質からなる領域の厚さが面内で変調が与えられ、フォトニックバンドギャップ効果が大きくなる。
請求項（抜粋）：
屈折率の異なる複数種類の物質が厚さ方向に周期的に積層された3次元周期構造体において、厚さ方向の1周期内でそれぞれの物質は2次元の周期的凹凸を持つ膜状または2次元周期的な網状の形をなし、それぞれの物質からなる領域の面内の厚さが、面内で変調されていることを特徴とする3次元周期構造体。
IPC (4件)：
G02B 6/12
, G02B 5/30
, G02B 6/13
, G02F 1/01
G02B 6/12 N
, G02B 5/30
, G02F 1/01 F
, G02B 6/12 M
2H047KA03
, 2H047KB08
, 2H047PA04
, 2H047PA05
, 2H047PA24
, 2H047QA02
, 2H047QA04
, 2H047RA08
, 2H047TA05
, 2H047TA11
, 2H049BA01
, 2H049BA45
, 2H049BC01
, 2H049BC25
, 2H079CA05
, 2H079DA16
