特許
J-GLOBAL ID:200903004027709312
酸化亜鉛膜の皮膜構造の制御方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
三枝 英二
, 掛樋 悠路
, 小原 健志
, 斎藤 健治
, 藤井 淳
, 関 仁士
, 中野 睦子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-281583
公開番号(公開出願番号):特開2005-047752
出願日: 2003年07月29日
公開日(公表日): 2005年02月24日
要約:
【課題】特殊な触媒物質を用いることなく、簡単な方法で酸化亜鉛膜の配向性や析出状態などの皮膜構造を制御できる方法を提供する。【解決手段】亜鉛イオン、硝酸イオン及びアミンボラン化合物を含む酸化亜鉛膜形成用組成物において、亜鉛イオン及び硝酸イオンの濃度を調整する方法、又は液温を調整する方法によって、酸化亜鉛膜の配向性及び析出状態を制御して酸化亜鉛膜の皮膜構造の制御することができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
亜鉛イオン、硝酸イオン及びアミンボラン化合物を含み、亜鉛イオン濃度が0.01〜0.05モル/lであって、硝酸イオンのモル濃度が亜鉛イオンのモル濃度の1〜3倍の範囲内にある水溶液からなる酸化亜鉛膜形成用組成物を被処理物に接触させることによって、(001)面に優先配向したポーラス構造の酸化亜鉛膜を形成することを特徴とする酸化亜鉛膜の皮膜構造の制御方法。
IPC (2件):
FI (3件):
C01G9/02 A
, C01G9/02 B
, C23C18/16 Z
Fターム (16件):
4G047AA02
, 4G047AB02
, 4G047AC03
, 4G047AD02
, 4K022AA02
, 4K022AA03
, 4K022AA04
, 4K022AA13
, 4K022BA15
, 4K022BA25
, 4K022BA33
, 4K022CA06
, 4K022DA01
, 4K022DB03
, 4K022DB26
, 4K022DB28
引用特許: