特許
J-GLOBAL ID：200903004039034299
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346937
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144585
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：
【要約】【課題】縦型炉にてボロンドープを行う場合、生産性を向上させ、さらにボロンの熱拡散を均一することでSi基板へのダメージを軽減することを可能とする。【解決手段】縦型炉によってB2O3を主成分とする固体の拡散源51の上下方向に対向して配置したSi基板41へ高濃度のボロンを熱拡散させる。ボロンドープ工程後は、Si基板をふっ酸水溶液に浸し、ボロンドープ面と反対面に形成されたボロンドープ層を除去する。
請求項（抜粋）：
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、該駆動手段が該振動板を静電気力により変形させる電極からなり、該振動板が高濃度ボロンドープ層からなるSi基板であるインクジェットヘッドの製造方法であって、縦型炉によってB2O3を主成分とする固体の拡散源の上下に該Si基板を配置し、該Si基板に高濃度のボロンを熱拡散させることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Fターム (5件)：
2C057AF71
, 2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AP51
