特許
J-GLOBAL ID：200903004039723108
電気光学サンプリングプローバ及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-340824
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164653
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】測定対象を動かすことなく表裏両面の測定を行うことができる電気光学サンプリングプローバを提供する。【解決手段】裏面励起型ICウエハ1の裏側に励起用光学系6bを設け、この励起用光学系6bから出射する光を励起用の光としてICウエハ1の裏面に照射する。これと同時に表側に配置された電気光学サンプリング光学系6aから出射した光によって、ICウエハ1上の配線の電気信号を測定する。また、励起用光学系6bをプローバ本体42に固定する脱着部5bに電気光学サンプリング光学系を取り付けることによって、測定対象のICウエハ1が両面配線であっても測定を行うことができる。
請求項（抜粋）：
測定対象のICウエハ表面上の配線に接し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化する電気光学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオードを有し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学素子内を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光学素子の表面において反射された光を分離して電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールと、前記電気光学サンプリング光学系モジュールを脱着するための脱着部を備え、該電気光学サンプリング光学系モジュールから出射する光の光路を覆う第1のプローバ本体と、からなる電気光学サンプリングプローバにおいて、前記ICウエハに対して励起用の光を照射する励起用光学系モジュールと、前記励起用光学系モジュールを脱着するための脱着部を備え、該励起用光学系モジュールから発せられた光の光路を覆う第2のプローバ本体と、を前記ICウエハの裏面側に設けたことを特徴とする電気光学サンプリングプローバ。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 15/24
, G01R 31/302
H01L 21/66 C
, H01L 21/66 X
, G01R 15/07 C
, G01R 31/28 L
2G025AA04
, 2G025AB11
, 2G025AB12
, 2G032AA00
, 2G032AF07
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA05
, 4M106CA08
, 4M106DE18
, 4M106DJ01
