固体撮像装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047209
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252452
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】スミアの低減と、映像信号のS/N比向上を図り、より高感度の固体撮像装置を提供する。【解決手段】光電変換領域14と、この光電変換領域14の上方に開口部23Aを有する遮光膜22Aと、光線入射方向における前記光電変換領域14と前記遮光膜22Aとの中間位置に設けられた複数の配線層13,15A,17とを備えた固体撮像装置10Aにおいて、前記配線層15Aの一部が、前記光電変換領域14周辺部に対して入射光25Aを遮光して光入射領域を規定するよう平面視して前記開口部23Aの内側に位置される。

請求項（抜粋）：

光電変換領域と、この光電変換領域の上方に開口部を有する遮光膜と、光線入射方向における前記光電変換領域と前記遮光膜との中間位置に設けられた複数の配線層とを備えた固体撮像装置において、前記配線層の一部が、前記光電変換領域周辺部に対して入射光を遮光して光入射領域を規定するよう平面視して前記開口部の内側に位置されることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 21/3205 , H01L 27/146

FI (3件)：

H01L 27/14 D , H01L 21/88 A , H01L 27/14 A

Fターム (17件)：

4M118AA01 , 4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118CA03 , 4M118DD12 , 4M118FA06 , 4M118FA28 , 4M118GB06 , 4M118GB11 , 4M118GB12 , 4M118GB15 , 5F033HH08 , 5F033JJ08 , 5F033KK04 , 5F033RR04 , 5F033XX32

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-318154
特開平4-111356
MOS型固体撮像装置及びその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-247872 出願人：株式会社東芝

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